左右滑道 前后滑道 左右進(jìn)給 前后進(jìn)給 上下進(jìn)給 控制器
雙V滑道 方軌+鳩尾 油壓驅(qū)動(dòng) FANUC控制器 FANUC控制器 FANUC
工作臺(tái)面動(dòng)態(tài)水平度前后方向 0.02mm/m。
工作臺(tái)面動(dòng)態(tài)水平度左右方向 0.02mm/m。
工作臺(tái)左右滑道完全由人工鏟花完成,以獲致完美之接獨(dú)面,并確保最高精度。
工作臺(tái)左右滑道長(zhǎng)度遠(yuǎn)長(zhǎng)于臺(tái)面之長(zhǎng)度(一般均為等長(zhǎng))而與工作臺(tái)長(zhǎng)度相等,如此工作臺(tái)于高速運(yùn)動(dòng)中不會(huì)發(fā)生扭曲變形而失去精度(PSGS系列除外)。