GPI系列激光干涉測量儀，運用移相干涉原理，提供高精度的平面面形，球面面形，曲率半徑，樣品表面質(zhì)量，傳輸波前的測量和分析?？蓱?yīng)用于：
平面和球面的面形檢測
平面楔角測量、直角棱鏡的直角偏差和任意角度的加工偏差
光學材料均勻性測量
角錐角度和面形偏差測量
精密盤片質(zhì)量檢驗
三平板絕對測量
雙球面絕對測量
靜態(tài)干涉條紋判斷
澤尼克多項式分析
球面曲率半徑測量
GPI系列高精度激光干涉測量儀的主機為Fizeau型干涉儀，具有光學器件少，精度高，易于使用等特點。光源為低功率氨氖激光，光束擴展為1英寸（25mm）至 32英寸（810mm）直徑，自干涉儀輸出。安裝在輸出孔之前的標準透射器件將部分激光反射回干涉儀，形成參考波面。余下激光穿過透射器至樣品。根據(jù)光束在樣品表面直接反射或透射后再反射回主機，形成測量波面。根據(jù)參考波面和測量波面干涉產(chǎn)生的干涉條紋，可以測量樣品的表面面形和傳輸波面質(zhì)量，樣品為平面或球面。如果為非平面和非球面，則需通過加裝補償片等手段進行測量。
GPI系列干涉儀采用精密移相技術(shù)和高分辨率CCD接收器件（最高可達 2048 X 2048），配合功能強大的MetroPro™軟件可以獲得高精確性和高質(zhì)量的測量結(jié)果，其平面樣品 PV絕對精度優(yōu)于λ/100 ！
球面樣品 PV絕對精度優(yōu)于λ/140！并能模擬樣品表面面形，包括鮮明的，可旋轉(zhuǎn)的3D彩色圖像，可選的剖面圖以及各種統(tǒng)計數(shù)字結(jié)果等。同時，針對用戶的各種樣品、各種要求，可以通過提供各種精密可選附件，配合功能強大的MetroProTM軟件，為用戶提供完美的技術(shù)解決方案并獲得滿意的測量結(jié)果。
GPI－XP系統(tǒng)最大的特點就是其功能強大的MetroProTM軟件系統(tǒng)。使用互動的窗口顯示，在屏幕上同時提供儀器控制，表面面形模擬，測量數(shù)據(jù)的統(tǒng)計分析等功能。測量數(shù)據(jù)可以存在磁盤上，或傳輸至其它計算機作進一步處理或統(tǒng)計分析。也可以使用彩色打印機打印出MetroProTM高質(zhì)量的數(shù)據(jù)圖像。 Mesa―平面度測量儀。 ZYGO公司專為精密機械加工件和薄型光學元件的平面度測量而設(shè)計的一種干步測量儀器，其測量對象是粗糙度為2.5μm(Ra)和平面面形誤差150μm(Pa)以下的零件，測量樣品直徑可達Ф96mm。Mesa同樣采用功能強大的MetroProTM軟件，可在5秒鐘內(nèi)完成測量和分析，并向用戶提供零件的三維面形圖和各類測量數(shù)據(jù)。
