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主要技術(shù)參數(shù)：

1、方形玻璃基片尺寸：127-0.50×127-0.50×2.3±0.1mm

2、主軸轉(zhuǎn)速：200～6000RPM  精度：±10RPM 增量：1RPM

3、主軸最大加速度：8000RPM／s（只對涂膠機(jī)）

4、熱板溫度：室溫～200℃，精度：±1℃

5、滴膠量：0～38ml可調(diào)，

6、可靠性：MTBF≥150h   MTTR≤2h

7、工藝工步時(shí)間：999.9秒 增量：0.1秒

8、外形尺寸（L×W×H）：1920mm×545mm×1120mm

9、重量：800公斤

10、電源條件：220VAC±10%，50Hz、10A

11、供氮?dú)鈼l件：0.4MPa,純度99.99%外接外徑為Ф6mm,內(nèi)徑為Ф4mm氮?dú)夤?/FONT>