| 技術(shù)參數(shù) | MT/MOT | MTD | MKT | MX/MOX | MC/MOC | MP/MOP | MY/MOY |
| 柵距 | 玻璃鉻線柵距：20 µ m (0.0008 inch) | ||||||
| 精確度 | ± 10 µ m | ± 5 µ m | |||||
| ( ± 0.0004 ") | ( ± 0.0002 ") | ||||||
| 分辨率 | 5 µ m (0.0002") | 1 µ m (0.00004") | Up to 0.1 µ m | 0.5 µ m (0.00002") | |||
| (0.000004") | |||||||
| 零參考點(diǎn) Io | MKT: 增量式 每 50 mm (1.97 ")一個(gè) | ||||||
| MT, MTD, MX, MX-L, MC, MP, MY: 由中間向兩端 每 50 mm (1.97 ")一個(gè) | |||||||
| MOT, MOX, MOC, MOP, MOY: 距離編碼零參考點(diǎn) | |||||||
| 最大速度 | 60 m/min. (198 ’/min.) | ||||||
| 最大頻率 | 50 Khz | 250 Khz | 50 Khz | 500 Khz | |||
| 最大振動(dòng) | 3g | ||||||
| 移動(dòng)力 | < 5N ( 2N for MX-L series) | ||||||
| 密封等級(jí) | IP 53 (標(biāo)準(zhǔn)) | ||||||
| IP 64 (DIN 40050) 使用壓縮空氣 | |||||||
| 輸出信號(hào) | TTL | TTL 差動(dòng) | TTL | TTL 差動(dòng) | 11 µ App | 1Vpp | TTL 差動(dòng) |
| 輸出信號(hào) | 20 µ m | 4 µ m | 20 µ m | 2 µ m | |||
