基礎(chǔ)技術(shù)參數(shù):
型 號(hào): FUNCTION 564
n 行 程: X軸 500 mm
Y軸 600 mm
Z軸 400 mm
¯ 結(jié)構(gòu)型式:活動(dòng)橋式
¯ 傳動(dòng)方式:直流伺服系統(tǒng) + 預(yù)載荷高精度空氣軸承
¯ 長度測(cè)量系統(tǒng):RENISHAW開放式光柵尺,分辨率為0.5μm
¯ 機(jī) 臺(tái):高精度花崗巖平臺(tái)
¯ 使用環(huán)境:溫度(20±2)℃,濕度55%-65% ,溫度梯度1℃/m,溫度變化 1℃/h
¯ 空氣壓力:0.4 MPa - 0.5 Mpa
¯ 空氣流量:120 L/min – 140 L/min
¯ 整機(jī)尺寸(LWH):1.4 m X 1.6 m X 2.4m
¯ 機(jī)臺(tái)承重:550 kg ,整機(jī)重量:850 Kg
空間測(cè)量精度:(2.8+L/300)μm