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一、東莞金研CMP高精密研磨拋光機(jī)-KD36QS4產(chǎn)品介紹

東莞金研CMP高精密研磨拋光機(jī)-KD36QS4為單面精密研磨拋光設(shè)備，被磨、拋工件放于研磨盤(pán)上，研磨盤(pán)逆時(shí)鐘轉(zhuǎn)動(dòng)，通過(guò)摩擦力使工件自轉(zhuǎn)，及加壓重塊對(duì)工件施壓，工件與研磨盤(pán)作相對(duì)運(yùn)轉(zhuǎn)摩擦，來(lái)達(dá)到對(duì)工件的研磨拋光目的。

東莞金研CMP高精密研磨拋光機(jī)-KD36QS4可應(yīng)對(duì)高精度少量的研磨加工。

二、東莞金研CMP高精密研磨拋光機(jī)-KD36QS4產(chǎn)品特點(diǎn)

1、東莞金研CMP高精密研磨拋光機(jī)-KD36QS4配置伺服修盤(pán)系統(tǒng)，確保磨盤(pán)足夠的平坦度。

2、東莞金研CMP高精密研磨拋光機(jī)-KD36QS4采用磨盤(pán)在線檢測(cè)恒溫系統(tǒng)，防止工件變形及脫片。

3、東莞金研CMP高精密研磨拋光機(jī)-KD36QS4采用多段柔性加壓系統(tǒng)，滿足復(fù)雜的加工工藝要求。

4、東莞金研CMP高精密研磨拋光機(jī)-KD36QS4配置數(shù)字化加液系統(tǒng)，減少磨液損耗。

5、東莞金研CMP高精密研磨拋光機(jī)-KD36QS4采用四工位獨(dú)立變速控制系統(tǒng)。

三、東莞金研CMP高精密研磨拋光機(jī)-KD36QS4應(yīng)用領(lǐng)域

東莞金研CMP高精密研磨拋光機(jī)-KD36QS4主要應(yīng)用于以下材料的研磨拋光：

1、半導(dǎo)體材料，包括Si、Ge、GaAs、藍(lán)寶石、SiC、InP、GaN、MEMS、陶瓷基板等；

2、精密光學(xué)材料，包括光學(xué)晶體、光學(xué)鏡頭、玻璃基板、ITO玻璃、藍(lán)寶石玻璃、濾波材料等；

3、晶體材料，包括鈮酸鋰、鉭酸鋰、YAG、石英、紅外材料等。

四、東莞金研CMP高精密研磨拋光機(jī)-KD36QS4技術(shù)參數(shù)