雷尼紹公司的結(jié)構(gòu)與化學(xué)成分分析儀（SCA），將電子掃描顯微鏡和拉曼光譜這兩種成熟的技術(shù)結(jié)合在一起，實(shí)現(xiàn)了一種強(qiáng)大的獨(dú)創(chuàng)技術(shù)，即不必在不同儀器之間移動(dòng)樣品，就可對(duì)同一點(diǎn)樣品的形貌、元素、化學(xué)成分、物理及電子學(xué)特性等進(jìn)行分析。SCA結(jié)構(gòu)和化學(xué)分析儀 (Structural and Chemical Analyzer, 縮寫SCA)，inVia與掃描電子顯微鏡(SEM)連用的連接接口。
