技術(shù)參數(shù):
◇ 行 程:X軸:700 mm
Y軸:1000 mm
Z軸:600 mm
◇ 結(jié)構(gòu)型式:移動橋式
◇ 傳動方式:直流伺服系統(tǒng)+ 預(yù)載荷高精度空氣軸承
◇ 開放式光柵尺
◇ 機 臺:高精度花崗巖平臺
◇ 整機尺寸:950m m X1050m m X 2300m m
◇ 機臺承重:500kg,
整機重量:1250 Kg
◇ 長度測量最大允許示值誤差:MPEE= 4.5+L/200
◇ 最大允許探測誤差(mm): MPEP=4.5
環(huán)境條件要求:
◇測量機室溫度要求
測量機室的溫度: 18 - 22 °C
機器周圍環(huán)境的最大溫度梯度: 1 °C/h,2 °C/24h,1 °C/m
◇ 供氣系統(tǒng)
最小供氣壓力: 0.5 Mpa
耗氣量: 120 L/min
◇ 供電系統(tǒng)
電壓: 220 V ± 10%
最大耗電量: 2000W
電流: 15 A
用電設(shè)備要求接地可靠:接地電阻小于4歐姆