系統(tǒng)組成:
1. LH01-激光干涉儀頭
2. PS01-電源
3. 線性測量光學(xué)儀器(L101-線性干涉儀, LR01-線性精美反射器)
5. EC01- 環(huán)境參數(shù)補(bǔ)償?shù)臍庀笳?/SPAN>( 溫度傳感器,壓力傳感器,空氣濕度傳感器和三個(gè)材料溫度傳感器)
6. 線性位置軟件 ,根據(jù)以下標(biāo)準(zhǔn):ISO 230-2, PN-93/M-55580/81, NMTBA, VDI/DGO 3441, BSI BS 4656 P16.
7. 線性位移測量軟件,慢速度線性位移注冊,FFT 分析,速度測量。
8. 電纜:
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*3 x