AMO光柵尺、奧地利AMO直線光柵尺、圓形光柵尺、直線導(dǎo)軌式及高精度數(shù)顯表
全新的AMO感應(yīng)柵是一種獨(dú)一無(wú)二的新產(chǎn)品。它由LMB測(cè)量鋼尺和LMK測(cè)量頭構(gòu)成,LMB測(cè)量鋼尺熱溫漂~11PPM,所以無(wú)需任何補(bǔ)賞。LMB測(cè)量鋼尺用光刻腐蝕法形成磁阻柵格,間距1mm,誤差1µm。LMK測(cè)量頭由0.1%精度正弦余弦信號(hào)發(fā)生器,及正弦余弦和參考信號(hào)電感線圈,線圈由腐蝕法制成。
ANO感應(yīng)柵相當(dāng)光柵能達(dá)到的精度,卻能工作再惡劣的塵埃、潮濕工作環(huán)境,又由于在測(cè)量尺和測(cè)量頭中并無(wú)磁性元件,因此它有很強(qiáng)的抗磁場(chǎng)干擾能力,和無(wú)磁滯誤差。精度高達(dá)±5µm 。AMO感應(yīng)柵直線位移傳感器有LMI-100開(kāi)放式結(jié)構(gòu),LMI-200300軌道密閉式結(jié)構(gòu): |
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