
F25
不管是微電機,微型開關或其他精細組建 ,用F25可以高精度測量微系統(tǒng)技術的每個工件。
精確至納米
Carl Zeiss的三坐標測量機F25提供了滿足質量保證中對工件形狀,位置和尺寸的特別需求的解決方案。微系統(tǒng)技術組件將被用于汽車零部件和醫(yī)療儀器上,并且在高精度控制和調節(jié)過程中起到?jīng)Q定性作用。此精細工件質量監(jiān)控的精度決定了零部件使用時的可靠性。
接觸掃描和ViScan光學傳感器 極小部件的測量
重要特征
超精密運動學與高精度測量系統(tǒng)的完美組合,分辨率為7.5nm,測量精度高達250nm
配置了Carl Zeiss三坐標測量機中久經(jīng)考驗的CALYPSO測量軟件
機器技術
靈活的多傳感器技術:同一系統(tǒng)采用接觸和光學測量
其接觸式被動掃描傳感器使用的是帶有集成壓阻組件的硅芯片
使用Zeiss顯微技術鏡頭的光學影像傳感器VISCAN,可用于二維測量
附加的相機支持測量時的可視化操作,并且便于示教編程
接觸掃描傳感器 測量應用范圍廣
選項
靈敏的三維探針測桿直徑50至500µm,探測頭直徑100至700µm