數(shù)控切槽磨床TYM-1000數(shù)控專用切槽磨床是我公司為半導(dǎo)體石英制品行業(yè)開發(fā)的高精度,大、小規(guī)格專用溝槽磨床,該機(jī)床專門用來磨削半導(dǎo)體用石英舟的溝槽。
整機(jī)采用龍門框架式結(jié)構(gòu),兩立柱落地固定在床身兩側(cè),立柱由橫梁聯(lián)接,剛性高;工作臺(tái)沿床身導(dǎo)軌移動(dòng),通過龍門進(jìn)行磨削,精度高。配置FANUC Oi mate數(shù)控系統(tǒng),各坐標(biāo)軸由伺服電機(jī)驅(qū)動(dòng)。機(jī)床可實(shí)現(xiàn)X、Y、Z三軸聯(lián)動(dòng),并配置附加軸。TYM-1350型磨床B軸可擺動(dòng)15°(手動(dòng)),主軸體可沿C軸轉(zhuǎn)動(dòng)±90°(PLC軸)。TYM-1000型磨床B軸可擺動(dòng)7.5°(手動(dòng))。