一、江蘇集萃華科高精度光學(xué)三維形貌測(cè)量?jī)x產(chǎn)品介紹
Zeus是高精度的光學(xué)三維形貌檢測(cè)平臺(tái)，采用先進(jìn)的直驅(qū)閉環(huán)運(yùn)動(dòng)控制，搭載多種光學(xué)檢測(cè)頭完美實(shí)現(xiàn)三維輪廓高速掃描測(cè)量。Zeus平臺(tái)具備完整的軟件功能，可在現(xiàn)代外觀下進(jìn)行直觀的操作，輕松完成三維形貌分析，截面輪廓分析、GD&T尺寸分析、粗糙度分析、2D圖像尺寸測(cè)量和分析等功能。
江蘇集萃華科高精度光學(xué)三維形貌測(cè)量?jī)x能滿足不同類型產(chǎn)品尺寸和外觀檢測(cè)的需求，提供全棧式測(cè)量方案。
二、江蘇集萃華科高精度光學(xué)三維形貌測(cè)量?jī)x產(chǎn)品特點(diǎn)
1、江蘇集萃華科高精度光學(xué)三維形貌測(cè)量?jī)x實(shí)現(xiàn)測(cè)量軟件、控制器等核心技術(shù)自主可控。
2、江蘇集萃華科高精度光學(xué)三維形貌測(cè)量?jī)x擁有國(guó)外最高等級(jí)測(cè)量設(shè)備的精度，但成本顯著降低。
3、江蘇集萃華科高精度光學(xué)三維形貌測(cè)量?jī)x的綜合測(cè)量精度達(dá)到0.8μm。
4、穩(wěn)定的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)使得江蘇集萃華科高精度光學(xué)三維形貌測(cè)量?jī)x在各種應(yīng)用環(huán)境，包括在線，現(xiàn)場(chǎng)和實(shí)驗(yàn)室，均能夠精準(zhǔn)測(cè)量。
5、專注于高要求和快速的測(cè)量需求，江蘇集萃華科高精度光學(xué)三維形貌測(cè)量?jī)x適用于在線檢測(cè)、非接觸測(cè)量場(chǎng)景實(shí)現(xiàn)高精度、高速測(cè)量。
6、江蘇集萃華科高精度光學(xué)三維形貌測(cè)量?jī)x提供多種擴(kuò)展分析工具可選，運(yùn)行穩(wěn)定，免維護(hù)
7、ZeusXY運(yùn)動(dòng)平臺(tái)行程高達(dá)400 mm x400 mm并且可選大理石底座平臺(tái)。
8、江蘇集萃華科高精度光學(xué)三維形貌測(cè)量?jī)x的橫向分辨率<1μm，高傾斜角±45，最大高度測(cè)量范圍可達(dá)4mm，最大高度分辨能力高達(dá)1nm，傳感器最高可達(dá)到36萬(wàn)測(cè)點(diǎn)/秒亞微米及分辨率。
三、江蘇集萃華科高精度光學(xué)三維形貌測(cè)量?jī)x應(yīng)用領(lǐng)域
江蘇集萃華科高精度光學(xué)三維形貌測(cè)量?jī)x面向3C行業(yè)，可滿足BGA、納米制程、引線鍵合、芯片貼合、晶片加工、微結(jié)構(gòu)等測(cè)量需求。
四、江蘇集萃華科高精度光學(xué)三維形貌測(cè)量?jī)x測(cè)量項(xiàng)目
江蘇集萃華科高精度光學(xué)三維形貌測(cè)量?jī)x測(cè)量項(xiàng)目包括：輪廓、三維面粗糙度、厚度、體積、幾何尺寸、直線度、截面面積、二維線粗糙度、磨損、平面度、面積等。
