可移動(dòng)桌面結(jié)構(gòu)確保最高的穩(wěn)定性
除去了阿貝誤差,實(shí)現(xiàn)了超精密度
各軸使用花崗巖使熱膨脹變形最小化
適合標(biāo)準(zhǔn)量器級(jí)別的精密部件測(cè)量
項(xiàng)目 | X軸 | Y軸 | Z軸 | |
測(cè)量范圍(mm) | 800 ~1500 | 1000 ~2500 | 500 ~1000 | |
分辨率(μm) | 0.1 | |||
示值誤差(μm,L:MM) | E | 0.9+L/500 ~1.3+L/500 | ||
P | 0.9 ~1.3 | |||
最大速度(㎜/s) | 300 | |||
最大承受重量(㎏) | 1000 ~2000 |