Tripod系列:
Model
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654
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765
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1077
|
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測(cè)量范圍(㎜)
|
X
Y Z |
600
500 400 |
700
600 500 |
1000
700 700 |
總尺寸(㎜)
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X1
Y1 Z1 |
1260
1283 2112 |
1360
1383 2312 |
1660
1483 2412 |
分辨率(㎛)
|
0.5
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最大允許誤差
per ISO 10360-2 (㎛, L:㎜) |
E
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2.0+3.5L/1000 (3.0+4L/1000)
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最大速度(㎜/s)
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800
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空氣要求(㎜/㎠, NL/min)
|
60
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最大承重量(kg)
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400
|
700
|
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機(jī)器重量(kg)
|
880 (910)
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930 (960)
|
1200
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