閉環(huán)中走絲特性:
1.采用HY-200B全閉環(huán)系統(tǒng)功能,可實時監(jiān)測光柵尺位移量,實現(xiàn)位移量閉環(huán)控制。
2.驅(qū)動電機配置:日本松下交流伺服控制;臺達交流伺服控制。
3.配備標準工業(yè)控制計算機(800MZ、160G硬盤、USB通訊接口)。
4.配備信和1pm雙波光柵尺。