高精度非球面和自由形狀表面磨床 ULC/ULG 系列,ULG 系列預加工用途(粗加工、半精加工)
高精密磨床 LG-100 系列
ULC/ULG 系列旨在以高效率和高精度車削和研磨自由形狀表面(fθ 透鏡)和非球面透鏡及其各自的模具。另外,優(yōu)化的機床結構和選件可用于各種應用,具有很高的性價比。
功能
高精度空氣靜力軸承主軸(研磨主軸、工作主軸)
精密損耗精度
除了高速、高精度、高剛性、低發(fā)熱性和高可靠性,還實現(xiàn)了精密損耗精度
研磨主軸:20nm/SPAM
工作主軸:5nm/SPAM (*1)
(*1) 通過“單點異步誤差運動”方法測量
考慮生態(tài)環(huán)境
高精度空氣靜力軸承主軸配有多孔限流器,可實現(xiàn)穩(wěn)定化和精致的加工表面,多孔限流器大大減少了空氣消耗,本公司根據(jù)慣例實現(xiàn)了 1/6 比率的空氣消耗量,因此,有利于節(jié)能減排。
高精度滾針V-V導軌
高可重復性,高加工效率
超低摩擦力導軌整合了本公司的原創(chuàng)高研磨技術和精選高精度軋輥,對納米范圍進給速率響應度高,消除了逆向進給的延遲。該導軌系統(tǒng)的剛性和穩(wěn)定性高于靜液壓/空氣靜力軸承導軌,但精度能保持相似。
考慮生態(tài)環(huán)境和空間節(jié)省
沒有靜態(tài)導軌常見的流體溫度波動,確保了穩(wěn)定的精度,同時無需使用液壓裝置之類的設備,即節(jié)省空間又節(jié)省能源。
軸驅動技術
優(yōu)化的設計
在考慮性價比的前提下,針對每種機器類型和軸優(yōu)化設計了滾珠螺桿驅動系統(tǒng)和線性馬達驅動系統(tǒng)。
考慮高精致加工
通過采用滾珠螺桿驅動系統(tǒng),我們開發(fā)并利用獨特的耦合器,解決了滾珠螺桿旋轉所造成的常見應力和振蕩問題。
LG-100 系列
主要規(guī)格
LG-100A
LG-100B
LG-100C(B2)
直線行程軸
X 軸 (mm)
70
125
180
Y 軸 (mm)
100
20
60
Z 軸 (mm)
150
80
150
編程
分辨率 (nm)100
10
最大進給速率
(mm/min)X 軸、Y 軸、Z 軸: 1000
X、Z:1000
Y: 300X、Z:500
Y: 300
工作主軸
旋轉速度
(min-1)200-667
200-1000
0-1500
真空吸盤
直徑 (mm)π100
C 軸功能
-
標配
研磨主軸速度 (min-1)
2000-20000
10000-80000
B 軸車削
工作臺進給速率
(度/分鐘)-
0-1080
編程
分辨率(度)-
0.0001
軸結構
X 軸、Y 軸、Z 軸
X 軸、Y 軸、Z 軸、B 軸、C 軸