快速影像測量系統(tǒng)介紹
快速影像測量系統(tǒng)HY-6000,采用全新的測量技術(shù)。測量時,用戶將工件放置到工作臺上,按一下測量按鈕即可執(zhí)行自動測量。 新的測量方法無需使用 XY 坐標(biāo)臺,顛覆了傳統(tǒng)的邏輯。
檢測時間縮短的原因
快速影像測量系統(tǒng)HY-6000沒有移動的坐標(biāo)臺,可以縮短測量時間,這一點不同于光學(xué)比較器、測量顯微系統(tǒng)以及傳統(tǒng)的影像測量儀。
HY-6000采用了高精度的 ø100mm 遠(yuǎn)心光學(xué)系統(tǒng)觀測圖像,能夠同時對多個檢測位置進(jìn)行精確測量,測量算法使用精心編制的快速測量算法,測量時間較傳統(tǒng)測量算法大幅縮短。
要完成多點測量只需簡單的兩步操作:
1. 放置工件
2. 按下測量按鈕
測量可靠
測量精度
快速影像測量系統(tǒng)HY-6000配置了一個大視野測量模式,可以覆蓋 ø100mm 的視野,以及另一個高精度測量模式,可以對 ø25mm 的區(qū)域進(jìn)行高精度測量。下表中的規(guī)格顯示了測量精度和重復(fù)精度。
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高精度測量模式
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大視野測量模式
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顯示分辨率
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0.1 µm
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重復(fù)精度
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±1 µm
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±2 µm
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測量精度
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±2 µm*1
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±8 µm *2
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*1. 距坐標(biāo)臺中心 ø20 mm 的范圍內(nèi),焦點位置上的工作溫度范圍為 +23±1.0°C。
*2. 距坐標(biāo)臺中心 ø80 mm 的范圍內(nèi),焦點位置上的工作溫度范圍為 +23±1.0°C。
邊緣位置的自動亞像素檢測
使用快速影像測量系統(tǒng)HY-6000的連續(xù)測量功能時無需進(jìn)行邊緣調(diào)整和找出原位的操作。 所有的測量都是通過自動檢測圖像的對比度(邊緣)而執(zhí)行,不會受人為因素的影響,確保了高重復(fù)性和高精度。
最小二乘法擬合處理
對于線或圓的邊緣檢測,須指定所謂的“邊緣檢測區(qū)域”。 在此邊緣區(qū)域中會使用亞像素處理 (小于 1 個像素)方法檢測多個邊緣點(對比度)。
例如,檢測線的默認(rèn)設(shè)置可以檢測 100 多個點。 使用最小二乘法根據(jù)邊緣點創(chuàng)建一條直線。實際情況中邊緣可能不平滑,而最小二乘法擬合會將此影響降至最低,最大程度保證了測量的精度。
測量結(jié)果
易讀取的趨勢圖一目了然
所有的測量結(jié)果會自動保存到硬盤中。
通過檢索測量結(jié)果還能自動計算各種統(tǒng)計資料。
例如,您能輕松查看顯示隨時間變化的趨勢圖,使用戶可以預(yù)測到潛在的問題,并在其發(fā)生之前將其消除。