- 三軸外差式雙頻激光干涉儀，用于位移、俯仰角和偏擺角的三角關(guān)系測(cè)量
- 高靈活性調(diào)整模塊，適用于所有數(shù)控機(jī)床的參數(shù)的測(cè)量
- 動(dòng)態(tài)測(cè)量最大速度4m/s，實(shí)時(shí)顯示三個(gè)軸的測(cè)量數(shù)據(jù)
- 小型反射鏡，帶有磁性固定裝置
- 適用于筆記本電腦、PCI和PXI中線，與網(wǎng)絡(luò)兼容
- 位移測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)分辨率為1nm，角度測(cè)量分辨率為0.01"
- 使用高精度溫度傳感器，系統(tǒng)精度可達(dá)50nm/m
- 可拓展為6軸測(cè)量
- 外部觸發(fā)最大頻率為40MHz快速調(diào)整也適用于3D
- 所有3軸實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)測(cè)量，無延時(shí)
- 最多可擴(kuò)展到6軸
- 小型反射鏡
- 外部最大觸發(fā)頻率40MHz
JENAer測(cè)量技術(shù)公司生產(chǎn)的雙頻激光干涉儀，是世界上唯一一家將頂級(jí)的蔡司光學(xué)鏡用于激光干涉儀領(lǐng)域的制造商。該公司的雙頻激光干涉儀，不僅能夠精確的測(cè)量數(shù)控機(jī)床的幾何量，如線性度、直線度、垂直度、角度、平面度等，還能夠測(cè)量數(shù)控機(jī)床的回轉(zhuǎn)量等。多軸干涉儀儀更可測(cè)量和檢測(cè)物體的微位移、擺動(dòng)振動(dòng)情況、工作臺(tái)的運(yùn)動(dòng)情況等。更多信息歡迎來電垂詢！
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| 三軸測(cè)量軟件（位移、偏擺和俯仰角） | 三角關(guān)系的設(shè)定 |
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| 測(cè)量結(jié)果的統(tǒng)計(jì) | 在位置5開始測(cè)量 |
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| 位移和角度的完全測(cè)量 | ISO230數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)標(biāo)準(zhǔn) |
