特性
運(yùn)用最新的計量學(xué)技術(shù)與生產(chǎn)方法，使其具有機(jī)械結(jié)構(gòu)剛性強(qiáng)，幾何誤差小，具有高精度、高性能和高穩(wěn)定性的特點(diǎn)。
機(jī)械整體結(jié)構(gòu)采用剛性結(jié)構(gòu)好、質(zhì)量輕的全封閉框架移動橋式結(jié)構(gòu)。其結(jié)構(gòu)簡單、緊湊、承載能力大、運(yùn)動性能好。
固定優(yōu)質(zhì)花崗巖工作臺，使其具有承載能力強(qiáng)、裝卸空間寬闊、便捷。
三軸采用優(yōu)質(zhì)花崗巖，熱膨脹系數(shù)小，具有相同的溫度特性及良好溫度適應(yīng)性、抗實效變形能力，剛性好、動態(tài)幾何誤差變形小。
三軸均采用自潔式預(yù)載荷高精度空氣軸承組成的靜壓氣浮式導(dǎo)軌，軸承跨距大，抗角擺能力強(qiáng)，阻力小、無磨損、運(yùn)動更平穩(wěn)。
長度測量系統(tǒng)采用高精度線性增量光柵尺，分辨率為0.0005mm，測量精度嚴(yán)格保證
橫梁采用精密橫梁設(shè)計技術(shù)，重量輕、重心低、剛性強(qiáng)、動態(tài)誤差小。
三軸均有氣源制動開光及微動裝置，可實現(xiàn)單軸的精密定位。
Z軸采用平衡裝置，極大的提高了Z軸的定位精度及穩(wěn)定性。
數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)采用高性能手動三坐標(biāo)專用系統(tǒng)，可靠性好。
