主要特征:
• 有限元優(yōu)化的大型橋式機(jī)結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),保證了大行程測(cè)量機(jī)足夠的強(qiáng)度和長(zhǎng)期使用時(shí)穩(wěn)定的精度。
• 采用國(guó)際領(lǐng)先的全鋁技術(shù),極佳的剛性/質(zhì)量比,保證機(jī)器的高性能和高精度。
• X向橫梁采用超高精密三角梁(Tricision®)技術(shù),相比矩形橫梁,重心更低,質(zhì)量剛性比更佳,運(yùn)動(dòng)更加可靠,該領(lǐng)先技術(shù)受到專利保護(hù)。
• Y軸采用??怂箍导瘓F(tuán)獲得專利的燕尾型導(dǎo)軌,提高了測(cè)量機(jī)的精度和重復(fù)性。
• 三軸均采用高精度德國(guó)HEIDENHAIN光柵尺,系統(tǒng)分辨率可達(dá)0.078μm,同時(shí)采用一端固定,一端自由伸縮的方式安裝,減少了光柵尺的變形,保證在溫度變化時(shí)的線性伸縮。
• Z向采取獲得了專利的氣動(dòng)平衡技術(shù),采用柔性懸掛系統(tǒng),避免了軸向運(yùn)動(dòng)和傳動(dòng)系統(tǒng)之間的干涉問題,提高了測(cè)量機(jī)的精度和長(zhǎng)期穩(wěn)定性。
• 各運(yùn)動(dòng)軸均采用直流伺服驅(qū)動(dòng)+增強(qiáng)型同步帶,確保大行程測(cè)量機(jī)運(yùn)動(dòng)的平穩(wěn)性和定位的準(zhǔn)確性。
• 采用海克斯康為Croma專業(yè)打造的IDC-I控制系統(tǒng),21項(xiàng)誤差空間修正技術(shù)和自動(dòng)調(diào)諧功能,保證了機(jī)器的動(dòng)態(tài)性能和測(cè)量精度。
• 獨(dú)有的自動(dòng)溫度補(bǔ)償功能,機(jī)器主機(jī)上布置高靈敏的溫度傳感器,保證了在溫度變化時(shí),仍保持測(cè)量機(jī)的高精度。
規(guī)格型號(hào)與技術(shù)指標(biāo):
機(jī)器型號(hào)
|
121510
|
122210
|
123010
|
152210
|
153010
|
152212
|
153012
|
行程(mm)
|
X
|
1200
|
1200
|
1200
|
1500
|
1500
|
1500
|
1500
|
Y
|
1500
|
2200
|
3000
|
2200
|
3000
|
2200
|
3000
|
Z
|
1000
|
1000
|
1000
|
1000
|
1000
|
1200
|
1200
|
外形尺寸(mm)
|
Lx
|
1839
|
1839
|
1839
|
2139
|
2139
|
2139
|
2139
|
Lx1
|
1738
|
1738
|
1738
|
2038
|
2038
|
2038
|
2038
|
Ly
|
2896
|
3596
|
4396
|
3596
|
4396
|
3596
|
4396
|
Lz
|
3480
|
3480
|
3480
|
3480
|
3480
|
3840
|
3840
|
Lz1
|
2307
|
2307
|
2337
|
2307
|
2337
|
2507
|
2537
|
空間尺寸(mm)
|
Dz1
|
1173
|
1173
|
1173
|
1173
|
1173
|
1373
|
1373
|
工作臺(tái)尺寸(mm)
|
Ph
|
600
|
600
|
630
|
600
|
630
|
600
|
630
|
Py
|
2480
|
3180
|
3980
|
3180
|
3980
|
3180
|
3980
|
支撐點(diǎn)間距離(mm)
|
Sy1
|
555
|
800
|
890
|
800
|
890
|
800
|
890
|
Sy2
|
1370
|
1630
|
2200
|
1630
|
2200
|
1630
|
2200
|
Sx
|
1210
|
1210
|
1210
|
1510
|
1510
|
1510
|
1510
|
鑲嵌件位置(mm)
|
A
|
72
|
72
|
72
|
122
|
122
|
122
|
122
|
B
|
212.5
|
212.5
|
212.5
|
195
|
195
|
195
|
195
|
主機(jī)凈重(Kg)
|
3792
|
5696
|
7637
|
6730
|
9046
|
6760
|
9078
|
被測(cè)零件最大重量(Kg)
|
1800
|
2250
|
2250
|
2250
|
2250
|
2250
|
2250
|
MPEe(μm)
|
3.5+L/300
|
4+L/300
|
4.5+L/300
|
MPEp(μm)
|
4
|
4,5
|
5
|
光柵尺分辨率
|
0.078μm
|
空間移動(dòng)速度
|
400mm/s
|
空間移動(dòng)加速度
|
1000 mm/s²
|
流量/供氣壓力
|
2.5dm3/s (180NL/min) >0.7MPa
|
溫度
|
20±2℃
|
濕度
|
45%-75%
|