主要特征：
三軸導(dǎo)軌均采用高精密天然花崗巖，具有相同的溫度特性及剛性
三軸導(dǎo)軌均采用高精度自潔式空氣軸承，運(yùn)動(dòng)更平穩(wěn)，導(dǎo)軌永不受磨損
單邊驅(qū)動(dòng)活動(dòng)橋式結(jié)構(gòu)，顯著提高運(yùn)動(dòng)性能，確保測量精度及穩(wěn)定性
Y軸采用整體燕尾式導(dǎo)軌，有效消除了運(yùn)動(dòng)扭擺，保證了測量精度及穩(wěn)定性
歐洲開放式金屬光柵尺，分辨率0.4 um
控制系統(tǒng)采用歐洲高速高精度自動(dòng)控制系統(tǒng)，該系統(tǒng)內(nèi)嵌32位微處理器，真正實(shí)現(xiàn)實(shí)時(shí)控制
三軸均采用大功率驅(qū)動(dòng)器、電機(jī)及雙級減速裝置，確保傳動(dòng)迅速、準(zhǔn)確
規(guī)格型號與技術(shù)指標(biāo)：
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