工作臺導(dǎo)向部采用在小型直線導(dǎo)向裝置領(lǐng)域贏得口碑的直線導(dǎo)軌，直線電機搭配高分解能線性解碼器，取得高精度的定位精度。
采用高性能釹磁鐵，具備大推力，體型小的同時能實現(xiàn)高速高響應(yīng)定位精度。此外，采用劃時代的無電纜驅(qū)動方式，機械性接觸部分僅采用直線導(dǎo)向裝置，實現(xiàn)了高清潔度。
納米直線電機最適合用作半導(dǎo)體和液晶制造以及要求清潔環(huán)境的檢驗、電子元器件裝配裝置等設(shè)備的定位機構(gòu)。
