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半導(dǎo)體切割不再借“刀”
2007-11-27 11:12:51
如果只是一塊大餅干,不論如何硬脆,切開它食用不必在乎割裂處是否平整如線,倘若要切割的不是餅干而是精細(xì)的半導(dǎo)體材料,情況就大不一樣。記者近日從省科技廳獲悉,多年來(lái)我國(guó)一直靠向瑞士、日本等國(guó)借“刀”切割半導(dǎo)體“餅干”的歷史將畫上句號(hào)。 由湖南大學(xué)與湖南宇晶公司共同研制的XQ300A高精度數(shù)控多線切割機(jī)床剛剛問世,并且在湘通過(guò)省科技廳組織的成果鑒定。

  這柄中國(guó)“寶刀”試鋒能否呈現(xiàn)刀不留痕的精湛?以中國(guó)工程院院士范滇元為首的專家組給出的評(píng)價(jià)是:基于高精度高速低耗切割控制關(guān)鍵技術(shù)研發(fā)的高精度數(shù)控多線高速切割機(jī)床,可全面實(shí)現(xiàn)對(duì)半導(dǎo)體材料及各種硬脆材料的高精度、高速度、低損耗切割,填補(bǔ)了國(guó)內(nèi)空白;成果具有多項(xiàng)自主知識(shí)產(chǎn)權(quán),整體技術(shù)達(dá)到國(guó)際先進(jìn)水平,其中切割線的張力控制技術(shù)、收放線電機(jī)和主電機(jī)的同步技術(shù)居于國(guó)際領(lǐng)先水平。

  據(jù)悉,該成果在湘成功研發(fā),解決了我國(guó)半導(dǎo)體材料切割加工的瓶頸,打破了過(guò)去瑞士、日本等國(guó)外進(jìn)口同類設(shè)備長(zhǎng)期壟斷中國(guó)市場(chǎng)的局面,標(biāo)志我國(guó)已躋身世界上少數(shù)幾個(gè)掌握了高檔數(shù)控多線切割機(jī)床制造技術(shù)的國(guó)家行列。

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