校正系統(tǒng) 用于校準(zhǔn)的激光干涉儀
1/三束激光干涉儀SP5000TR
同時(shí)測量準(zhǔn)確長度、俯仰和偏航角的三重光束激光干涉測量系統(tǒng)
最高精度的彈性長度測量系統(tǒng)
集成光束方向檢測便于處理和調(diào)整
可使用各種光學(xué)反射器,例如:球形、平面反射鏡
允許測量反射器的傾斜度最高為+12.5
緊湊型設(shè)計(jì)
鋁、不銹鋼或因瓦的傳感器頭設(shè)計(jì)
波束距離:12毫米
OEM版本,OEM軟件和真空版本是可能的
具有可選擇性的可調(diào)偏轉(zhuǎn)鏡的波束偏轉(zhuǎn)
通過可選接口擴(kuò)展應(yīng)用范圍
廣泛觸發(fā)選項(xiàng)
按現(xiàn)行有效標(biāo)準(zhǔn)校正軟件
咨詢電話：13522079385
工業(yè)和研究中的許多應(yīng)用領(lǐng)域需要高度精確的同時(shí)位移和角度測量。在三反射器單元固定的托架的移動(dòng)過程中,同時(shí)獲得了俯仰角和偏航角以及長度測量,使快速和高精度地評估運(yùn)動(dòng)軸成為可能。快速、簡單的傳感器調(diào)整尤為重要。
SP5000TR三束激光干涉儀是將三個(gè)干涉儀組合在一起的精密長度測量儀器。所有三個(gè)測量通道都由一個(gè)具有相同高度穩(wěn)定激光頻率的光源輸入。因此,三長度值可以同時(shí)測量納米精度.從兩個(gè)長度值和標(biāo)定光束距離的差異出發(fā),可以用高分辨率和高精度確定相應(yīng)的角度。
干涉儀系統(tǒng)具有模塊化設(shè)計(jì),因此可以適應(yīng)各種測量任務(wù)。
傳感器頭的光纖耦合和可選集成光束方向檢測支持易于處理和精確調(diào)整。
我們的設(shè)計(jì) SP5000TR三束干涉儀 緊湊有力。這使它成為工業(yè)和研究中高精度測量的理想。版本的OEM儀器也可以在真空中使用.
對于大型測量范圍或大型物體的校準(zhǔn),建議使用無線無線電溫度傳感器或LCS精密氣候測量站。
適用領(lǐng)域
引導(dǎo)、測量、顯微鏡和定位級的激光干涉測量
二坐標(biāo)或多坐標(biāo)測量的高精度俯仰和偏航角校正
測量機(jī)器和機(jī)床的校正
差數(shù)測量(膨脹測量、材料測試)
動(dòng)態(tài)角測量,獲取角振蕩
按要求延長測量角度的測量范圍
2/校準(zhǔn)激光干涉儀SP 15000 C5
用于高精度同時(shí)測量和校準(zhǔn)定位軸的長度、俯仰角、偏航角和直線度的激光干涉儀
最高精度的彈性長度測量系統(tǒng)
高度精確的長距離測量
同步、連續(xù),并與一個(gè)可選的滾轉(zhuǎn)角傳感器結(jié)合,測量長度、斜角和偏航角的6個(gè)自由度
集成光束方向檢測便于處理和調(diào)整
測量反射器的大傾斜不變性
波束距離:50毫米
旋轉(zhuǎn)光學(xué)可測量的水平和垂直直度分量
廣泛觸發(fā)選項(xiàng)
Windows和Linux下OEM軟件的開放接口
按現(xiàn)行有效標(biāo)準(zhǔn)校正軟件
高精度的機(jī)械軸引導(dǎo)特性的動(dòng)態(tài)采集以及隨后的符合標(biāo)準(zhǔn)的校準(zhǔn)是一個(gè)非常勞動(dòng)和時(shí)間密集的過程,最終導(dǎo)致高定位精度。
… SP15000C5校準(zhǔn)激光干涉儀 專門為滿足坐標(biāo)測量機(jī)和高精度機(jī)床制造商的要求而開發(fā)。它使同步,連續(xù),并與一個(gè)可選的滾轉(zhuǎn)角度傳感器,6自由度測量.通過激光干涉測量,在所有三個(gè)長度測量通道中使用相同的高度穩(wěn)定的激光頻率,獲得了X線和Y線的測量量長度、俯仰角、偏航角和直線度。
完整的機(jī)器驗(yàn)收或體積補(bǔ)償可以使用可選的軟件實(shí)現(xiàn)。
由于直線光學(xué)的緊湊設(shè)計(jì),直線鏡直接連接到傳感器頭上。因此,只有兩個(gè)組件需要組裝并相互匹配。即使在擁擠或難以進(jìn)入的空間,測量系統(tǒng)也可以快速安裝和可靠調(diào)整。
傳感器頭的光纖耦合和集成光束方向檢測支持了處理和調(diào)整的方便性。校準(zhǔn)干涉儀不需要額外的支架。它可以直接放置在穩(wěn)定的機(jī)床上。這樣可以最大限度地減少要校準(zhǔn)的光學(xué)元件的數(shù)量。
對于大型測量范圍或校準(zhǔn)任務(wù),無線無線電溫度傳感器或我們的LCS精密氣候測量站是首選。
