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離子束拋光 新興精密拋光技術(shù)
2024-05-09 14:51:23

01

基本情況

光學(xué)精密拋光技術(shù)是提升光學(xué)元件表面質(zhì)量和精度的關(guān)鍵工藝。它通過(guò)去除表面的裂紋、劃痕和粗糙度等缺陷,顯著提高光學(xué)元件的透光率、反射率和色散率等性能。目前有機(jī)械拋光、化學(xué)拋光和化學(xué)機(jī)械拋光等。離子束拋光技術(shù)是一種原子量級(jí)的無(wú)應(yīng)力、非接觸式拋光工藝。它在真空環(huán)境下利用惰性氣體離子(如氬氣離子)轟擊工件表面,通過(guò)物理濺射效應(yīng)實(shí)現(xiàn)材料的去除。簡(jiǎn)單概括就是在不接觸的情況下,利用離子束轟擊將被拋光材料表面搞光滑。離子束拋光的特點(diǎn)在于其非接觸式加工方式,與傳統(tǒng)拋光工藝相比,離子束拋光避免了因預(yù)壓力導(dǎo)致的表面或亞表面損傷,同時(shí),高潔凈度的真空環(huán)境確保了加工過(guò)程中不會(huì)引入雜質(zhì),從而有效制造出超光滑表面。它能夠快速收斂面形,實(shí)現(xiàn)亞納米量級(jí)的材料去除分辨率,滿(mǎn)足最終面形精度的嚴(yán)格要求。


02

產(chǎn)業(yè)鏈

離子束拋光機(jī)主要由離子源、工作臺(tái)、控制系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、氣體循環(huán)系統(tǒng)等組成。其中,離子源是核心部分,利用電磁場(chǎng)加速離子形成離子束。工作臺(tái)用于支撐工件,控制工件的位置和角度??刂葡到y(tǒng)則負(fù)責(zé)整個(gè)設(shè)備的操作和監(jiān)控。真空系統(tǒng)則創(chuàng)造一個(gè)良好的工作環(huán)境,保持離子束的穩(wěn)定性。氣體循環(huán)系統(tǒng)則用于回收加工中產(chǎn)生的廢氣及處理。離子束拋光機(jī)在精密、超精密制造領(lǐng)域應(yīng)用廣泛。如在半導(dǎo)體行業(yè)用于晶圓表面平臺(tái)化處理和薄膜去除,以及硅片拋光、MEMS器件等加工。在光學(xué)行業(yè)用于元件的超精密元件加工、表面處理,如光學(xué)鏡片拋光、激光晶體加工等。在精密模具、航空航天零部件、超精密軸承制造、生物醫(yī)學(xué)的人工關(guān)節(jié)等醫(yī)療器械加工等領(lǐng)域都有著不少應(yīng)用。


03

企業(yè)介紹

美國(guó)伊士曼柯達(dá)(Eastman Kodak)最早報(bào)道該技術(shù),并組建出離子束拋光機(jī)。

德國(guó)NTG公司是專(zhuān)業(yè)生產(chǎn)離子束拋光機(jī)的生產(chǎn)廠家,與德國(guó) IOM 研究所合作推出的離子束拋光機(jī)同樣具有非球面光學(xué)元件的拋光能力。

咨詢(xún)?cè)O(shè)備:13522079385


04

幾個(gè)觀點(diǎn)

1.技術(shù)門(mén)檻高,生產(chǎn)設(shè)備昂貴,雖然新的應(yīng)用領(lǐng)域在不斷開(kāi)拓中,市場(chǎng)不斷擴(kuò)大,前景無(wú)疑是廣闊的,但目前市場(chǎng)整體屬于高端設(shè)備,生產(chǎn)企業(yè)相對(duì)較少。2.離子束拋光機(jī),分口徑大小,口徑越大要求越高,并且曲面加工能力也是非常重要的指標(biāo)。3.拿PPT講故事的團(tuán)隊(duì)有,已有產(chǎn)品的企業(yè)到處講故事的也有,這也算是行業(yè)發(fā)展初期的狀況吧。


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