大連科德的激光頭是全國(guó)產(chǎn)自主的，核心組件自主最高的國(guó)產(chǎn)激光干涉儀。。。目前在官網(wǎng)就看到這一款產(chǎn)品，有個(gè)專業(yè)的團(tuán)隊(duì)再做。不過(guò)目前干涉儀最強(qiáng)的英國(guó)RENISHAW雷尼紹XM-60/600多光束激光干涉儀，效率超高，對(duì)個(gè)人要求也低，極易學(xué)習(xí)和使用。希望大連科德也開發(fā)對(duì)標(biāo)產(chǎn)品?。?！
XM60小知識(shí)：
XM-60是一款激光測(cè)量系統(tǒng)，只需一次設(shè)定即可沿線性軸同時(shí)測(cè)量6個(gè)自由度的誤差。它還是一款功能強(qiáng)大的診斷工具，通過(guò)一次采集即可測(cè)量軸的所有幾何量誤差。
對(duì)于執(zhí)行空間補(bǔ)償?shù)挠脩?，XM-60為他們獲得所需數(shù)據(jù)組提供了一種快速精準(zhǔn)的方法。 所有測(cè)量均為光學(xué)測(cè)量，可在任意方向執(zhí)行。
輕型發(fā)射器通過(guò)光導(dǎo)纖維遠(yuǎn)離發(fā)熱的激光源，從而減少測(cè)量點(diǎn)處的熱影響。發(fā)射器可直接通過(guò)其側(cè)面甚至后面安裝到機(jī)器上或者上下倒置安裝，非常適用于難以接近的機(jī)器區(qū)域。
接收器可進(jìn)行完全無(wú)線操作，由充電電池供電，從而在機(jī)器移動(dòng)中避免電纜拖拽，因?yàn)樵跍y(cè)量過(guò)程中電纜拖拽可能會(huì)引起誤差或激光束“斷光”。
主要特性與優(yōu)點(diǎn)：
快速 — 利用傳統(tǒng)激光技術(shù)，一次安裝即可同時(shí)測(cè)量線性、俯仰、扭擺、滾擺、水平方向和垂直方向直線度等六項(xiàng)誤差。
簡(jiǎn)單 — 設(shè)定簡(jiǎn)單，讓其他干涉儀系統(tǒng)使用者很快就能熟練使用。自動(dòng)檢測(cè)軸的正負(fù)方向和圖形準(zhǔn)直減少了人為誤差。
可靠 — 直接測(cè)量所有誤差，允許用戶在測(cè)試過(guò)程中查看結(jié)果。
強(qiáng)大 — 獨(dú)特的光學(xué)滾擺測(cè)量系統(tǒng)能夠在任一方向執(zhí)行滾擺測(cè)量。
LM系列激光干涉儀可進(jìn)行位置精度檢測(cè)，可檢測(cè)數(shù)控機(jī)床定位精度、重復(fù)定位精度、反向間隙等相關(guān)幾何誤差參數(shù)指標(biāo)；以及其他需要高精度幾何誤差測(cè)量及補(bǔ)償?shù)膽?yīng)用場(chǎng)合。
科德數(shù)控股份有限公司生產(chǎn)的KMC800S系列高精度五軸立式復(fù)合加工中心，利用LM系列激光干涉儀進(jìn)行X軸測(cè)量，定位精度為3.2um，重復(fù)定位精度為1.9um，這一測(cè)量結(jié)果與使用國(guó)際知名廠商（雷尼紹XL80）所生產(chǎn)的激光干涉儀測(cè)量結(jié)果相吻合。
1.LM-20激光干涉儀介紹：
LM-20激光干涉儀以氦氖激光器產(chǎn)生的激光波長(zhǎng)為基礎(chǔ)，應(yīng)用高穩(wěn)定度的激光穩(wěn)頻率技術(shù)，獲得作為測(cè)量基準(zhǔn)的高精度激光波長(zhǎng)；同時(shí)使用高精度溫度、大氣壓力、濕度傳感器進(jìn)行測(cè)量環(huán)境的補(bǔ)償；并通過(guò)與外部光學(xué)鏡組配合，實(shí)現(xiàn)高精度、可重復(fù)、可溯源的相關(guān)幾何參數(shù)精度測(cè)量，是數(shù)控機(jī)床和坐標(biāo)測(cè)量機(jī)等精密設(shè)備校準(zhǔn)的理想工具。LM-20激光干涉儀延續(xù)GDLM-10激光干涉儀的高精度測(cè)量性能，同時(shí)優(yōu)化了機(jī)械結(jié)構(gòu)和使用性能。
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2.測(cè)量的基本原理
（1）LM-20激光干涉儀的激光頭發(fā)射出光波，經(jīng)過(guò)分光鏡后光波被分成兩束；
（2）固定角錐反射鏡和移動(dòng)角錐反射鏡分別將光波反射回分光鏡；
（3）兩列相干光波相遇疊加，在疊加區(qū)域某些點(diǎn)的光振動(dòng)始終加強(qiáng)，某些點(diǎn)的光振動(dòng)始終減弱，即在干涉區(qū)域內(nèi)振動(dòng)強(qiáng)度有穩(wěn)定的空間分布；
（4）最終在光靶上形成了明暗相間的干涉條紋，當(dāng)兩束滿足干涉條件的光路徑發(fā)生相對(duì)變化時(shí)（即移動(dòng)角錐反射鏡時(shí)），其干涉條紋也將發(fā)生變化，利用特殊的計(jì)數(shù)裝置對(duì)干涉條紋進(jìn)行計(jì)數(shù)，就可以知道移動(dòng)角錐反射鏡的位置變化量，從而實(shí)現(xiàn)對(duì)線性位移進(jìn)行測(cè)量的目的。
3. 產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)
高激光頻率穩(wěn)定度激光穩(wěn)頻標(biāo)稱精度±0.05ppm，實(shí)際計(jì)量結(jié)果 0.02ppm，為激光干涉儀測(cè)量提供高精度基準(zhǔn)。中國(guó)計(jì)量科學(xué)研究院是中國(guó)最權(quán)威的計(jì)量檢測(cè)機(jī)構(gòu)，激光干涉的檢定數(shù)據(jù)均來(lái)自于中國(guó)計(jì)量科學(xué)研究院。
精密的環(huán)境參數(shù)測(cè)量能力環(huán)境溫度測(cè)量標(biāo)稱精度±0.1℃，實(shí)際計(jì)量結(jié)果-0.02℃-+0.06℃；材料溫度測(cè)量標(biāo)稱精度±0.1℃，實(shí)際計(jì)量結(jié)果+0.01℃-+0.06℃；大氣壓力測(cè)量標(biāo)稱精度±100Pa，實(shí)際計(jì)量結(jié)果+40-+66.7Pa；環(huán)境濕度測(cè)量精度±5%。為激光干涉儀的環(huán)境補(bǔ)償算法提供精準(zhǔn)的環(huán)境參數(shù)變化。
高測(cè)量精度線性定位測(cè)量標(biāo)稱精度±0.5um/m（±0.5ppm），實(shí)際計(jì)量結(jié)果+0.08-+0.47um/m，高測(cè)量精度使激光干涉儀可以作為高精度的校準(zhǔn)設(shè)備。
4.產(chǎn)品特點(diǎn)1
高測(cè)量速度；最高4m/s的測(cè)量速度，滿足幾乎所有的測(cè)量應(yīng)用。
快速啟動(dòng)：約6分鐘的啟動(dòng)預(yù)熱時(shí)間，便于測(cè)量現(xiàn)場(chǎng)的快速使用。
長(zhǎng)測(cè)量距離：長(zhǎng)達(dá)20m的測(cè)量能力，滿足大多數(shù)的測(cè)量要求。
5.產(chǎn)品特點(diǎn)2
高測(cè)量分辨率：可選的測(cè)量分辨率，最高1nm。
觸發(fā)式測(cè)量：適合在待測(cè)機(jī)器移動(dòng)時(shí)記錄測(cè)量值，測(cè)量效率高。
多種國(guó)際分析標(biāo)準(zhǔn)供選擇：方便用戶選擇自己需要的分析標(biāo)準(zhǔn)，進(jìn)行多種分析。
6.核心組件（激光頭）
激光的穩(wěn)頻，發(fā)射接收及相關(guān)后續(xù)處理；環(huán)境傳感器數(shù)據(jù)的接收，上位機(jī)軟件的交互
7.核心組件（環(huán)境傳感器）
用于測(cè)量環(huán)境溫度，材料溫度，環(huán)境濕度及大氣壓力；測(cè)量得到的環(huán)境數(shù)據(jù)用于干涉儀的精密補(bǔ)償。
8.核心組件（測(cè)量鏡組）
1、線性鏡組：用于進(jìn)行線性測(cè)量的光學(xué)套件；
2、角度鏡組：用于進(jìn)行角度及旋轉(zhuǎn)測(cè)量的光學(xué)套件。
