半導(dǎo)體?太陽能電池?LED?功率半導(dǎo)體制造裝置(線切機)
對應(yīng)半導(dǎo)體?太陽能電池?LED及功率半導(dǎo)體等IT產(chǎn)業(yè)所有的坯料加工
1、TWP-500DL 金剛線線切機
對應(yīng)太陽能晶片。使用金剛線和切線網(wǎng)，滿足高精度、高成品率及高生產(chǎn)效率的線切機。
TWP-500DL是以配合使用金剛線加工而開發(fā)的線切機。為最大限度發(fā)揮出金剛線磨粒的加工特長,在設(shè)備各處使用了本公司獨自的技術(shù)。設(shè)備規(guī)格可將 □156mm×Ｌ500mm的硅晶棒上下2段排列,并一次切割2根晶棒。上下左右配置4根導(dǎo)線軸，將1條鋼線分為上下兩段用, 且各自獨立的繞線加工網(wǎng)。為防止鋼線在走線時出現(xiàn)扭曲和斜行走線,配置了繞線軸和滑輪。同時還搭載了大功率電機等。本設(shè)備與以往的線切機相比，實現(xiàn)了2倍以上的高生產(chǎn)效率。即使在進行每分1mm的高速切割時，也可確保TTV10μm以下的高精度，且達到98％以上的高成品率。
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主要規(guī)格
TWP-500DL
安裝尺寸?。ㄕ鎸?/span>×縱深×高）
mm
1,860×4,200×2,590
最大晶棒尺寸
mm
φ156
鋼線導(dǎo)向軸數(shù)
條
4
最大晶棒長度
mm
500×2?。ㄉ舷?段）
最大走線速度
m/分
1,500
2、TWG-300 金剛線線切機
藍寶石、SiC、GaN用金剛線線切機。
TWG-300是以使用金剛磨粒為前提開發(fā)的金剛線線切機。因采用可最大限度發(fā)揮出金剛線性能的技術(shù)，在進行φ4英寸的藍寶石鑄晶棒的切割時，也可實現(xiàn)
[1]2倍的生產(chǎn)效率（切割時間為舊款設(shè)備的一半）
[2]TTV10μm、BOW10μm的高精度加工
[3]線使用量15m／片以下的低加工成本。
TWG-300上新搭載了可使鋼線導(dǎo)向軸搖動的新型搖動框架，可高效切割難以磨削的材料。除了牢固的基本構(gòu)造外，還采用了將搖動機構(gòu)一體化的高剛性框架構(gòu)造等，提高了設(shè)備整體的剛性。并且，還采用了防止鋼線發(fā)生扭曲和斜行的走線控制、鋼線的張力保持不變的張力控制等，從而最大限度發(fā)揮出金剛線的切割性能。除此以外，還搭載了大功率電機等，即使在高負荷時也可進行高速且正確的切割，實現(xiàn)了走線速度1,500m／分的高速化，以及在加減速時間1.5秒下的高速往返切割。另外，還采用了可根據(jù)切割位置設(shè)置線速度、搖動速度、搖動角度等各種條件的曲線控制。利用此功能，在進行難磨削材料的切割時，也可確保高生產(chǎn)效率、高精度加工和低運行成本。
主要規(guī)格
TWG-300
安裝尺寸 （正面寬×縱深×高）
mm
1,700×3,505×2,880
最大晶棒尺寸
mm
φ150
鋼線導(dǎo)向軸數(shù)
本
2
最大晶棒長度
mm
300
最大走線速度
m/分
1,500
