近日，國機(jī)集團(tuán)所屬沈陽儀表科學(xué)研究院有限公司(以下簡稱“沈陽儀表院”)承擔(dān)的遼寧省科技創(chuàng)新重大專項(xiàng)“高精密激光劃片機(jī)工藝技術(shù)及裝備研究”順利通過驗(yàn)收，成功研制出國內(nèi)先進(jìn)的12英寸高精密微水束耦合激光劃片機(jī)，填補(bǔ)了國內(nèi)空白，在破解制約國產(chǎn)高端激光IC劃切裝備及關(guān)鍵工藝瓶頸的道路上邁出堅(jiān)實(shí)一步。
遼寧省重大專項(xiàng)驗(yàn)收專家組聽取了項(xiàng)目組的研制工作總結(jié)，并針對(duì)關(guān)鍵技術(shù)問題進(jìn)行了深入質(zhì)詢，驗(yàn)收專家組最終認(rèn)為“項(xiàng)目圍繞高精密激光劃片工藝技術(shù)及裝備研發(fā)需求，攻克了微水束激光耦合、高精密運(yùn)動(dòng)控制等2項(xiàng)關(guān)鍵技術(shù)，搭建了高精密激光劃片工藝裝備試驗(yàn)平臺(tái)，研制出12英寸高精密水束光纖耦合激光劃片機(jī)產(chǎn)品，完成了合同書規(guī)定的任務(wù)與驗(yàn)收指標(biāo)”，一致同意項(xiàng)目通過驗(yàn)收。該項(xiàng)目順利通過驗(yàn)收，標(biāo)志著我省IC裝備四大核心裝備之一———12英寸水導(dǎo)激光劃片設(shè)備已經(jīng)實(shí)現(xiàn)了國產(chǎn)化，提升了我省集成電路產(chǎn)業(yè)整體競爭力。
實(shí)施創(chuàng)新驅(qū)動(dòng)，是遼寧省委、省政府加快推動(dòng)新一輪遼寧老工業(yè)基地振興所做出的重大戰(zhàn)略決策，其中，實(shí)施科技重大專項(xiàng)是落實(shí)全省創(chuàng)新驅(qū)動(dòng)戰(zhàn)略的重要內(nèi)容。沈陽儀表院依托傳感器國家工程研究中心在半導(dǎo)體精密劃切工藝和專用裝備制造的技術(shù)基礎(chǔ)，與東北大學(xué)、沈陽工業(yè)大學(xué)、中科院半導(dǎo)體研究所等高校和科研機(jī)構(gòu)開展產(chǎn)學(xué)研聯(lián)合攻關(guān)，項(xiàng)目組歷時(shí)四年，突破了一系列的技術(shù)瓶頸，解決了諸多技術(shù)難題，在水束光纖耦合、高精密運(yùn)動(dòng)控制等一系列關(guān)鍵技術(shù)和工藝方面取得重大突破，對(duì)誤差擬合和實(shí)時(shí)補(bǔ)償、視覺對(duì)準(zhǔn)、激光與微水束對(duì)準(zhǔn)、設(shè)備可靠性分析、微水束激光加工等技術(shù)和工藝進(jìn)行了研究和應(yīng)用，開發(fā)了專用控制系統(tǒng)軟件，成功研制出國內(nèi)先進(jìn)的12英寸高精密微水束耦合激光劃片機(jī)。
項(xiàng)目產(chǎn)品目前正在中國科學(xué)院半導(dǎo)體研究所示范應(yīng)用，總體運(yùn)行穩(wěn)定。項(xiàng)目相關(guān)技術(shù)直接促進(jìn)了沈陽儀表院紅外激光劃片機(jī)和ZSH系列砂輪劃片機(jī)產(chǎn)品的升級(jí)換代，技術(shù)衍生產(chǎn)品6寸激光劃片機(jī)于今年也正式進(jìn)入市場服役。項(xiàng)目組下一步將對(duì)標(biāo)國外設(shè)備，繼續(xù)優(yōu)化樣機(jī)性能，同時(shí)，計(jì)劃組建精密劃切工程技術(shù)實(shí)驗(yàn)室，依托專業(yè)化技術(shù)平臺(tái)開展激光劃片多種工藝研究，為沈陽儀表院高端裝備制造產(chǎn)業(yè)的可持續(xù)發(fā)展提供有力支撐。
