繼蔡司METROTOM 1500高精度X射線斷層掃描測量機于中國計量科學研究院順利安裝及服務于其高端檢測服務后，經德國、新加坡與中國團隊的共同努力，業(yè)界最高精度測量機——蔡司F25亦于近日成功安裝于中國計量科學研究院昌平實驗基地超精密實驗室。
F25配備復合式超高精度微測力與視像傳感器系統(tǒng)，以其少于250納米的測量誤差享譽國際計量領域，該設備主要面向超高精度幾何計量、微型精密機械工程、非球面光學系統(tǒng)等行業(yè)領域，解決應用物理和微細加工中的納米與微米級測量問題，可在微納米計量、微電子、先進制造、微機械、醫(yī)學工程等領域發(fā)揮重要作用，已安裝多臺于德國PTB物理技術研究院、英國NPL、博世等國家級計量機構或全球知名企業(yè)。
隨著中國高新技術產業(yè)及支柱產業(yè)改造對計量技術，計量研究與高精密檢測的需要，可以預見METROTOM 1500及F25的安裝將同時為未來搭建中德現代計量科學研究與檢測平臺提供良好的基礎，研究、建立新一代的國家計量標準裝置、開展內尺寸、微納米量值傳遞、溯源等相關計量實驗課題將獲得深入發(fā)展的良好契機，標志著幾何量計量向內尺寸檢測及微納米研究邁入更深的一步。
